刊名：电子工业专用设备

英文：Equipment for Electronic Products Manufacturing

主办：  中国电子科技集团第四十五研究所
周期：  月刊
出版地：北京市
语种：  中文;
开本：  大16开
ISSN： 1004-4507
CN：   62-1077/TN
复合影响因子： 0.236
综合影响因子： 0.127

历史沿革：
现用刊名：电子工业专用设备
曾用刊名：半导体设备
创刊时间：1971

期刊荣誉：
Caj-cd规范获奖期刊

× 主　　编：赵璋
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