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【引言】介质阻挡放电(dielectric barrier discharge,DBD)能够在常温常压下产生大量高能量密度的低温等离子体,目前在高功率激光器、臭氧制备、污染物治理及材料表面处理等领域已得到广泛应用。通常情况下,DBD 表现为丝状放电模式,即放电空间内存在大量随机分布的微放电细丝,其高能量密度及非均匀分布的放电等离子体在一定程度上限制了其应用前景。而在一定条件下,DBD 也可表现为均匀放电模式,即放电空间内存在大量均匀、稳定及功率密度适中的低温等离子体,因此在材料表面改性、薄膜沉积及等离子杀菌消毒等领域具有更明显的应用潜力。目前已成为低温等离子技术应用领域的研究热点。
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