溅射镍钇涂层1000℃高温氧化机理研究

【引言】高温氧化性气氛中使用的合金，依赖于在其表面形成一层生长缓慢且粘附的保护性氧化膜。随着对高温部件抗氧化性能要求的日趋提高，仅靠提高基材合金的性能有时已难以满足使用要求，各种新型高温防护涂层应运而生。其中，利用磁控溅射方法制备的微晶涂层占有较大的比例。这些涂层大都依靠表面形成NiO、Cr2O3、Al2O3、FeOx 和CoO 等氧化物来获得保护性。通常，向涂层或基体合金中添加少量稀土元素能显著提高材料的抗氧化性能，既稀土元素效应(REE)。然而，对稀土元素的作用机理目前仍不十分清楚。本文以纯镍为基体，通过在其表面磁控溅射Ni-0.5Y 微晶涂层，来研究微晶结构及稀土元素钇对NiO 氧化膜保护性能的影响。